Em 4 de setembro de 2025, a 13ª Exposição de Materiais e Componentes de Equipamento de Semicondutores de alto nível foi realizada no Centro Internacional de Exposições de Wuxi Taihu. Esta conferência anual de equipamentos de semicondutores com o tema "Fortalecer o núcleo da China, abraçar o mundo do núcleo", reuniu fabricantes de equipamentos de semicondutores, empresas de fabricação de sensores e empresas de alta e baixa da cadeia industrial, especialistas acadêmicos do Instituto de Pesquisa Científica, para compartilhar os últimos resultados da pesquisa científica e casos de aplicação prática e explorar juntos como potenciar a atualização da indústria através da inovação tecnológica.



A KANOMAX apresenta instrumentos de detecção como contadores de partículas de poeira, velocímetros térmicos, transmissores de velocidade do vento e pressômetros diferenciais no estande B3-328.









O fluxo de pessoas na frente do estande, o pessoal de pesquisa e desenvolvimento da empresa de materiais semicondutores, o chefe técnico da fábrica Fab estão em consulta, o pessoal Kanano pacientemente e cuidadosamente introduz as características de desempenho do instrumento, cenários de aplicação e demonstração de produtos no local, para que todos sintam intuitivamente o excelente desempenho do produto.





Contadores de partículas em ambientes de fabricação de semicondutores
No processo de fabricação de chips semicondutores, os requisitos de limpeza do ambiente de produção são elevados, deve ser proibido curto-circuito ou corte de circuito de cristal devido a partículas de poeira, desvios de processo e outros fatores, para controlar a quantidade de partículas ultrapequenas no local de operação no ambiente de limpeza, para garantir a qualidade do produto e melhorar a eficiência do produto.



No processo de produção de chips semicondutores, contadores de partículas são usados principalmente para:
Inspeção do processo de fabricação da fábrica Fab: em vários processos como a fotogravura do wafer, a exibição de cola, a gravura, etc., o contador de partículas é usado para detectar partículas de poeira no ambiente para garantir a precisão do processo.
Processo de embalagem: no processo de corte de wafer, o contador de partículas também desempenha um papel fundamental para garantir a qualidade da embalagem.
Monitoramento de qualidade do processo de produção de equipamentos de semicondutores: o ponto de processo do equipamento é monitorado pelo contador de partículas para garantir a estabilidade do processo de produção e a qualidade do produto.



O contador de partículas de poeira ultra-pequeno 3950, projetado para ambientes de fabricação de chips de semicondutores, é capaz de monitorar com precisão partículas pequenas de 0,1 μm e 0,3 μm, com a vantagem de ser leve e pequeno, e também pode ser usado como um sensor incorporado em equipamentos de produção para monitorar em tempo real as partículas ultra-pequenas no local de operação, fornecendo uma base confiável para a avaliação da limpeza do ambiente de operação limpo. Com a tecnologia de inspeção de precisão de 0,1 μm, a linha de defesa de qualidade é fortalecida para cada micro-link fabricado no "núcleo chinês".




Velotímetros de vento em ambientes de fabricação de semicondutores
Na fabricação de semicondutores, a velocidade do vento ambiental (velocidade do vento local dentro da sala limpa e do equipamento) afeta diretamente a precisão do processo, a eficiência e a confiabilidade do produto. Uma velocidade razoável do vento pode formar um "campo de fluxo stratificado / turbulento" estável, removendo partículas (como resíduos de fotogravura, subprodutos de gravura, poeira de corte) para evitar que elas se apeguem à superfície do wafer causando defeitos;
Ao mesmo tempo, a velocidade anormal do vento (muito alta / muito baixa / desigual) desencadeia diretamente a perda de boa taxa. Por exemplo, uma flutuação de 5% da velocidade do vento no link de gravura pode levar a um desvio de 0,03 μm da largura da linha (o desvio permitido da largura da linha do processo de 7nm é de apenas 0,02 μm), causando diretamente uma falha do chip.



Os requisitos de limpeza do ambiente de produção dos equipamentos de visualização de cola são elevados, especialmente durante o revestimento de cola fotográfica e o processo de visualização, a poluição de partículas pequenas pode causar defeitos de padrão fotográfico e afetar o desempenho do chip. É necessário fornecer ar limpo através de filtros de alta eficiência da unidade de filtragem do ventilador (FFU), como HEPA ou ULPA, para remover eficazmente as partículas do ambiente e garantir que a superfície do wafer seja livre de poluição, aumentando assim a precisão e a produtividade dos padrões fotográficos.



O tester ambiental KANOMAX 65Ser é capaz de capturar com precisão as mudanças na velocidade do vento dentro da sala limpa e do equipamento, sejam elas pequenas flutuações de velocidade do vento ou diferenças de velocidade do vento em áreas locais, ao mesmo tempo em que mede a velocidade do vento, temperatura, umidade, pressão, forma e tamanho da seção do tubo de entrada para calcular o volume de ar.



A KANOMAX tem trabalhado na área de tecnologia limpa de semicondutores por muitos anos e ganhou a confiança e o reconhecimento de muitos clientes. A empresa continuará a aumentar o investimento em pesquisa e desenvolvimento, lançando constantemente novos produtos e novas tecnologias competitivas para atender às necessidades de mudança e atualização do mercado e contribuir ainda mais para o desenvolvimento e progresso da indústria de semicondutores.
Obrigado por visitar o estande KANOMAX de Kanano para visitar o intercâmbio, amanhã é maravilhoso continuar, vamos testemunhar juntos a nova jornada do desenvolvimento da indústria de semicondutores!