Na indústria de processamento de alta precisão, como a fabricação de semicondutores, optoelectrônica e micronanométrica, os processos críticos como o revestimento, a imagem e a limpeza de wafers precisam ser transportados e tratados em ambientes limpos altamente controlados de Classe ISO 1. Qualquer pequena perturbação do fluxo de ar (como turbulencias locais, mutações na velocidade do vento) ou velocidades anormais do vento (muito altas ou muito baixas) podem causar problemas graves - velocidades de vento muito baixas podem causar que os poluentes da área limpa não sejam removidos a tempo, aumentando o risco de poluição da superfície do wafer; A velocidade do vento é muito alta e fácil de soprar o revestimento fotogravurado da superfície do wafer, causando deformações ou defeitos do padrão; As perturbações do fluxo de ar também podem interferir com a precisão da transmissão mecânica do wafer e até provocar falhas de bloqueio do equipamento, que podem afetar diretamente a eficiência do produto (que pode levar a uma redução de mais de 10%) e a estabilidade do processo.



Portanto, o monitoramento preciso, reprodutível e em tempo real da velocidade do vento dentro da cavidade do equipamento é um dos principais meios para garantir a consistência do processo, verificar o desempenho do equipamento e identificar riscos potenciais, e o testeiro ambiental 6531 é o dispositivo essencial para atender a essa necessidade fundamental.
Processo de teste
Para verificar se o estado do fluxo de ar dentro do canal de transferência de wafer está em conformidade com os requisitos do processo, o tester ambiental multiparâmetro de alta precisão 6531 é usado para medir sincronicamente os seguintes parâmetros críticos.
Condições ambientais:
O teste deve ser realizado em um ambiente limpo de nível ISOClass1, a pressão constante e a temperatura, para evitar a detecção de interferência externa de partículas, e o sistema deve ser auto-limpo e equilibrado antes do teste.



Velocidade do vento:
Equipamento de colagem/imagem (máquina de colagem, imagem, pulverizadora)
Este tipo de equipamento no processo de processamento precisa completar as operações finas de revestimento de cola fotográfica, pulverização de líquido de exibição e outros, a espessura do revestimento de cola fotográfica geralmente é medida em mícrons, a velocidade do fluxo de ar muito rápida levará à superfície do revestimento a produzir ondulações, acumulação de bordas e outros defeitos, muito lento não pode tirar o vapor de solvente volátil no processo de revestimento / exibição, causando a poluição do wafer. Portanto, a velocidade do vento deve ser rigorosamente controlada entre 0,3 e 1,0 m/s e a distribuição uniforme do fluxo de ar na seção transversal da cavidade deve ser garantida.
Equipamento de limpeza (máquina de descolar, máquina de limpeza de placas)
A limpeza requer reagentes químicos (ácido sulfúrico, ácido hidroflúrico, etc.) ou pulverização de alta pressão para remover camadas de cola e impurezas, o processo pode gerar vapor químico e partículas de detritos. A velocidade insuficiente do vento faz com que os poluentes se apeguem, levando a uma limpeza inadequada; a velocidade excessiva do vento perturba o fluxo de água de pulverização ou deixa o reagente residual volatilizar rapidamente para formar a poluição cristalina. Portanto, a velocidade do vento é definida em 1,0-1,5 m / s, que pode remover poluentes de forma eficiente e manter o fluxo de ar da câmara estável sem interferir com o processo de limpeza.
Temperatura e umidade：
Temperatura excessiva faz com que a adesividade fotográfica caia, o solvente volatiliza rapidamente, afetando a uniformidade do revestimento; Muito baixo reduz a atividade do reagente de limpeza e o efeito de limpeza piora; Umidade muito alta pode causar corrosão metálica do equipamento, curto-circuito elétrico, muito baixo gerar eletricidade estática, absorver partículas de poluição do wafer. Portanto, a temperatura deve ser controlada em 25 ° C e a umidade em torno de 50% RH.
Diferença de pressão：
A pressão interna é muito baixa e o ar externo com poeira penetra na poluição; Excesso de altura pode causar deformação da vedação da cavidade, fluxo de ar anormal e afetar o funcionamento do equipamento. Os diferentes requisitos de diferença de pressão do equipamento são diferentes: máquina de colagem, câmera de vedação forte, precisa de fluxo de ar estável, diferença de pressão geralmente 5-50Pa; máquina de descolagem, máquina de limpeza de placa única precisa acelerar a saída de gás volátil, diferença de pressão de 50-200Pa. A diferença de pressão geral é de 1-200Pa (dependendo do tipo de equipamento).
Método de teste：
Adote o método de pontuação de tela de grade: com referência ao padrão ISO 14644-3, dividir a superfície de saída do FFU em uma grade de área equivalente de pelo menos 3 x 3 ou 4 x 4; O centro da grade é o ponto de amostragem e contém áreas críticas como abaixo da abertura de escape do filtro de alta eficiência, os cantos da câmara e acima do caminho de transmissão do wafer. Tome a velocidade média do vento na seção de teste para determinar se está em conformidade com os requisitos.



Ajustar a sonda 6531 para que seja direta à direção do vento, a distância do ponto de medição da superfície de saída do vento da FFU é de 15 a 30 cm (dependendo da situação no banco do equipamento).
Ajuste a sonda 6531 para cada posição do ponto central da grade, recomenda-se que o tempo de medição seja de ≥ 10 segundos, várias medições e a média dos dados de velocidade do vento seja registrada.
Terminar o teste e realizar uma análise computacional dos registros de dados coletados.
Nota: O equipamento deve manter uma boa vedação durante o teste, para evitar que a má vedação da câmara altere o tamanho e a direção do fluxo de ar do FFU durante o teste, afetando a credibilidade dos resultados do teste.



Efeito do teste:
Os testes experimentais mostraram que o tester ambiental 6531 pode verificar com precisão a estabilidade do fluxo de ar da câmara limpa, garantindo eficazmente a segurança da transmissão de wafer e a consistência do processo de alta limpeza; Ao mesmo tempo, seu monitoramento sincrónico multiparâmetro e a acumulação de dados a longo prazo fornecem uma base confiável para a comissão, aceitação e manutenção de equipamentos, melhorando significativamente a eficiência da linha de produção e a eficiência operacional.
Desempenho do instrumento e aplicações
Testador ambiental inteligente 65Ser, velocidade do vento, volume de ar, temperatura, umidade, pressão ao mesmo tempo, pode inserir a forma e o tamanho da seção do tubo para calcular o volume de ar, função de manutenção de dados de teste, cálculo estatístico (média, máximo, mínimo), armazenamento de dados de até 20.000, 8 tipos de sondas para escolher, compatível com a troca de sondas.



O tester ambiental KANOMAX 65Ser é amplamente utilizado em testes de ventilação, controle de laboratório, teste de sala limpa, avaliação de IAQ, higiene industrial, controle de qualidade, etc., para garantir a segurança do processo e a qualidade do produto.