Brooke(Usuário)Contrômetro óptico（Interferímetro de luz branca）Introdução de produtos e aplicações

Um,Linha de produtos：

Brooke(Usuário)A solução de medição e inspeção de superfícies tridimensional***** oferece um sistema de caracterização de contorno tridimensional sem contato rápido, confiável e fácil de usar. Amostras pequenas até ao campo de microvisãoMEMSEstrutura, grande a motor mecânico completo. Esses programas oferecem aos pesquisadores e engenheiros em P&D, fabricação e controle de qualidade a sensibilidade e a estabilidade do setor**. Este é o desafio que outros métodos de medição enfrentam em aplicações de medição de superfícies tridimensionais finas.

O perfilador óptico da Brooke é baseadoWyko ®A tecnologia patenteada, acumulada ao longo de décadas, oferece alta precisão e estabilidade que outros sistemas de medição não podem alcançar. Hoje em dia, estes estão se tornando o cenário de aplicação principal para medições 3D de superfície de precisão. Nossas ferramentas de medição demonstraram suportar pesquisas e descobertas em laboratórios e ambientes de produção，Equipamento amplamente utilizado em semicondutores, óptica e outras indústrias- É.

Os contornos ópticos da Brooke incluem os seguintes modelos: Série desktopO ContourX-100，O X-200，O X-500Série de pisoO ContourX-1000，O NPFLEX-1000e especialmente paraPCBPainel projetadoContourSPtambém para análise de superfície no armazenamento de dados.HD9800+- É.

Dois.Apresentação das funções：

O perfilador óptico tridimensional de BrookeNenhum contato, alta precisão e alta adaptabilidade，Oferece microscópicos para pesquisa e desenvolvimento, controle de qualidade e produção on-line MEMSEstrutura para todo300 milímetrosSoluções de medição de superfície tridimensional** para wafers e peças de tamanho maiorAs principais funções são listadas abaixo.

1,Medição de alta precisão da superfície:< 0,01 nmresolução da superfície,<0.1%Escadas altamente repetitivas.

2,Resultados de rastreabilidade em conformidade com os padrões: o profilômetro óptico tridimensional da Brooke é um dispositivo de medição extremamente preciso para medições de altura.

Três,Modo de medição universal: reconhece automaticamente a textura da superfície e otimiza o sinal para equilibrar a precisão sub-nanométrica com grandes alturas de degraus.

4 eEliteImagem melhorada: alta fidelidade mantendo a precisão da medição2Dimagem óptica.

5 eInclinação/Cabeça óptica inclinada: modelos específicos permitem medição e foco inalterados quando a cabeça lateral é inclinada, melhorando significativamente a eficiência do teste e a facilidade de uso.

6 eSoftware de análise eficiente: milhares de filtros pré-configurados e scripts de análise com saída de um cliqueISO25178eASME B46.1 (em inglês)parâmetros padrão estabelecidos.

7 eProcessamento em lote automático: foco automático, iluminação automática, importação de arquivos de coordenadas, reconhecimento de padrões eESDProteção para medições em lote "com um clique".

8 eModo de medição da espessura da película: a espessura da película é calculada medindo o sinal reflexo da superfície superior e inferior da película transparente.

Três.Aplicação:

1,usinagem de precisãoSistema de medição de nível metrológico, medição precisa e eficiente da qualidade da superfície de processamento de precisão ou tamanho tridimensional do padrão de processamento micronanométrico, fornecendo feedback e relatórios suficientes para monitoramento, rastreamento e avaliação do processo, melhorando significativamente a eficiência do desenvolvimento do processo.

2,Sistemas Micromecânicos e SensoresFornece medições de profundidade de gravação, espessura de membrana, altura de degraus e rugosidade de superfície de alto fluxo e alta repetibilidade para garantir a precisão e eficiência do monitoramento do processo.

Três,****Medição precisa e repetida de todos os tipos de superfícies, como materiais e componentes implantados, para garantir a qualidade.

4 eDesgaste por atritoMedição quantitativa do desgaste volumétrico, análise precisa e avaliação do atrito, desgaste, lubrificação e corrosão dos materiais/Efeitos sobre o desempenho e a vida útil dos componentes.

5 eSemicondutoresMedir a rugosidade e a planicidade; Identificação e análise de altura, superfície comum e defeitos; E medições tridimensionais críticas de várias linhas, buracos, camadas de membrana e outras estruturas. Por exemplo ** reencabramento no campo da embalagem (RDLperfuração de silício empilhado tridimensional (TSVe monitoramento tridimensional de tamanho de processo como placa de carregamento.

6 - ÓpticaMedição precisa e repetida de materiais ópticos e superfícies de componentes, avaliação quantitativa de defeitos e ajuda a otimizar o processo de processamento. Por exemplo, o monitoramento da qualidade de vários planos ópticos, superfícies curvas e medições automáticas de estruturas ópticas micronanométricas (período, profundidade, etc.) e matrizes de microlentes (diâmetro, curvatura, altura da seta, etc.).