Causas da poluição do vácuo

Existem principalmente os seguintes pontos:

I. Fatores de processo

1. gás residual no sistema de vácuo: se o sistema de vácuo não limpar e bombear o vácuo adequadamente antes do uso, o gás residual pode conter várias impurezas, como vapor de óleo, vapor de água, poeira, etc. Essas impurezas se depositam no vácuo sob certas condições, causando poluição.

Anti-proliferação de gás de processo: em alguns processos de vácuo, o gás de processo usado pode ser anti-proliferado para a área onde o vácuometer está localizado sob o efeito da diferença de pressão. Se o gás de processo contém componentes facilmente condensáveis ​​ou facilmente adsoríveis, o vácuometer pode ser contaminado. Por exemplo, em processos que usam gases fluorados, o fluoreto pode ser depositado na superfície do vácuometer.

Factores de manutenção do equipamento

Selo ruim: se o vácuometer e a conexão do sistema de vácuo são mal selados, o ar externo e as impurezas podem entrar no sistema e poluir o vácuometer. Por exemplo, o envelhecimento, a quebra ou a instalação inadequada das juntas de vedação podem causar falhas na vedação.

Manutenção inadequada: durante a manutenção e reparação do sistema de vácuo, também podem ser introduzidos poluentes se a operação for inadequada. Por exemplo, durante a substituição do vácuometer ou a manutenção, as medidas de proteção adequadas não são tomadas para permitir que impurezas como poeira, óleo e outros entrem no sistema.

III. Factores ambientais

Poeira e impurezas no ar: Mesmo que o sistema de vácuo esteja selado, ele pode se comunicar com o ambiente externo através de pequenos canais de vazamento. A poeira, o vapor de água e outras impurezas no ar podem penetrar gradualmente no sistema e contaminar o vácuometer.

Alterações de temperatura e umidade: as mudanças de temperatura e umidade podem levar ao material no sistema de vácuo a liberar gás ou a absorver umidade, aumentando assim o conteúdo de impurezas no sistema e contaminando o vácuometer. Por exemplo, em ambientes com maior variação de temperatura, alguns materiais podem sofrer enflamento térmico e contração, quebrando a vedação e introduzindo impurezas externas.