A tecnologia de interferência a laser tem vantagens como alta sensibilidade, grande alcance e adaptabilidade a ambientes difíceis, onde as ondas de luz podem ser definidas diretamente e facilmente rastreadas. A série PLR3000 de medidores de fibra óptica com base no princípio de interferência laser é um equipamento avançado de detecção de posição de alta precisão, alta sensibilidade e alta eficiência, com vantagens na área de medição de alta precisão sem contato, em comparação com a faixa de aço ou a rede de vidro tradicional, com uma distância de rede mais precisa e maior resolução, ao mesmo tempo que o seu design de isolamento de fonte térmica garante maior estabilidade, ao mesmo tempo que tem instalação rápida e fácil de rectificar e outras características, em microeletrônica, micromecânica, microóptica e fabricação de processamento de alta precisão moderna, tecnologia de gravura e aeroespacial e outras áreas de alta tecnologia.

Composição do laser de fibra

A escala de laser de fibra é composta por um dispositivo de emissão de laser, uma sonda de interferência, um espelho e outras partes.

1. Dispositivo de emissão a laser

O dispositivo de emissão a laser incorpora uma fonte de luz a laser de hélio de alta estabilidade, com precisão de frequência estável de 0,05 ppm (0,02 ppm opcional). O laser é conduzido para a sonda de interferência através de uma fibra óptica encaixada para isolar a fonte de calor da sonda de medição. O dispositivo de emissão a laser incorpora um sistema de processamento de sinal de alta precisão, que pode emitir diretamente sinais digitais ortogonais RS422 em tempo real e sinais analógicos ortogonais com resolução configurada pelo usuário, e também pode ser desenvolvido secundáriamente através do USB-SDK.

2. Sonda de medição de interferência

Sonda de interferência diferencial (DI)

A sonda de interferência diferencial emite dois feixes de laser (luz de referência e luz de medição), que são refletidos por um espelho plano fixo e um espelho plano móvel, respectivamente, para alcançar uma frequência óptica quadruplicada, com maior resolução do sistema e menos erros não lineares. Especialmente adequado para medir o movimento relativo entre a coluna Z e a plataforma de movimento, a eliminação de erros resultantes da deriva térmica da parede interna e da vibração / movimento da coluna é a escolha para o esquema de precisão em nanoescala.

Sonda de interferência de espelho plano (PI)

A sonda de interferência de espelho plano usa um sistema de interferência de duplo alcance óptico, com espelho plano, para alcançar a frequência óptica quadruplicada, com maior resolução do sistema, usando um sistema de dois eixos, com espelho plano de longa faixa, especialmente adequado para aplicações de controle de movimento e medição da plataforma XY. Disponível em duas configurações de iluminação de 0° e 90°.

Sonda de interferência de prisma angular (RI)

Sonda de interferência de prisma angular, fácil de instalar, alta precisão, adequada para medição uniaxial ou feedback de posição, medição de distância de até 10 metros, pode ser personalizada de 40 metros, amplamente aplicada no posicionamento de movimento e calibração de equipamentos. Disponível em duas configurações de iluminação de 0° e 90°.

Características técnicas do laser de fibra

Medição de alta precisão: precisão de medição linear até 0,5 ppm;

Alta precisão de frequência estável do laser: estabilidade de frequência do laser até 0,05 ppm (opcional 0,02 ppm)

Alta resolução: resolução inerente até 10nm, resoluções diferentes podem ser configuradas para expandir ainda mais o segmento e alcançar resoluções mais altas.

Medição de alta velocidade: a velocidade máxima de medição pode ser superior a 2000mm / s;

Comprimento da medição: o alcance da medição pode atingir mais de 4 m, 40 m podem ser personalizados;

Instalação fácil, fácil de rectificar: tamanho pequeno, instalação flexível, pode reduzir significativamente o erro Abe; A sonda de interferência é configurada com um dispositivo de regulação angular para alcançar facilmente a rectidão do feixe;

Isolamento da fonte de calor do caminho óptico de medição: o dispositivo de emissão a laser é separado da sonda de medição, a sonda não tem fonte de calor, pode evitar o efeito da dissipação do calor do anfitrião no caminho de medição;

Saída multi-canal: até uma sonda de três vias pode ser conectada simultaneamente, facilitando a medição simultânea de múltiplos eixos e a medição de vários graus de liberdade;

Diversidade da interface de saída: a interface de saída do host inclui a interface USB e a interface de saída de posição, a interface de saída de posição tem TTL diferencial (RS-422 / EIA-422), sinal de cosinus positivo (SinCos1Vpp), USB-SDK.

Validação de aplicações de medidores de fibra laser

Os medidores a laser de fibra da série PLR3000 foram validados com precisão em vários clientes: controle de circuito fechado de mesas de deslocamento nanométricas de alta precisão com sondas de interferência diferencial (DI) para precisão de controle de posição nanométrica em qualquer local dentro de um percurso de 10 mm.