Sob a sonda, o mundo microscópico com precisão

Instrumento de imagem média série NSEspessura de filme de degraus revestidosÉ um instrumento de medição de contorno microscópico de contato de alta precisão, com uma plataforma XY de precisão combinada com uma mesa rotativa elétrica de rotação contínua de 360 °, que pode ajustar a posição e o ângulo da amostra, e a posição tridimensional pode ser ajustada para facilitar o ajuste da amostra. Usado principalmente para medição de parâmetros micromorfológicos como altura de degraus, espessura da camada de membrana e rugosidade da superfície.

Série NSEspessura de filme de degraus revestidosO sensor capacitivo diferencial variável linear LVDC, com capacidade de regulação de força ultra-microscópica e resolução de nível sub-E, ao mesmo tempo, integra a captação de sinal de ruído ultra-baixo, controle de movimento ultra-fino, algoritmos de calibração e outras tecnologias principais, tornando o instrumento com uma precisão de medição ultra-alta e repetibilidade de medição.

Características do produto

Excelente repetibilidade e reprodutividade para atender aos requisitos de precisão da medição das peças testadas

Sensor capacitivo diferencial variável linear (LVDC) com resolução de nível AE, até 0,01 AE na escala de 13um. A alta relação sinal-ruído e o baixo erro linear permitem que o produto escanee características morfológicas de alguns nanômetros a algumas centenas de mícrons.

2. Sensor de força constante ultra-minúscula: (1-50) mg ajustável

A força de medição é constantemente ajustável para se adaptar às superfícies de materiais duros ou macios. O design de inércia ultra-baixa e o controle eletromagnético mínimo permitem medições de contato precisas sem danos de contato.

3. Plataforma de varredura super plana

O sistema é equipado com guias lineares ultra-altas, eliminando as sutis vibrações no movimento, melhorando a precisão da varredura e refletindo verdadeiramente a pequena forma da peça de trabalho.

Sistema de navegação óptica de visão superior, câmera colorida de alta resolução de 5MP

Mesa de carregamento XY totalmente automática, elevação automática do eixo Z, mesa de rotação θ totalmente automática de 360°

Sistema de coleta e análise de dados robusto

O software do escalómetro contém vários módulos que oferecem suporte completo para medição de altura e avaliação analítica de diferentes peças testadas.

Funcionalidades do produto

Função de medição de parâmetros

1) altura da etapa: é capaz de medir a altura da etapa de nano a 330 μm ou 1050 μm, pode medir com precisão gravação, pulverização, SIMS、 Materiais depositados ou removidos durante processos como sedimentação, revestimento rotativo, CMP, etc.

2) rugosidade e onduladura: é capaz de medir a rugosidade e onduladura da amostra, o software de análise pode obter dezenas de parâmetros relacionados com a rugosidade e a onduladura Ra, RMS, Rv, Rp, Rz, etc.

3) Medição de tensão: pode medir a tensão superficial de vários materiais.

Modo de medição e função de análise

1) Modo de medição de área única: após a conclusão do Focus, defina o ponto de início da varredura e o comprimento da varredura de acordo com o mapa de navegação da imagem para iniciar a medição.

2) Modo de medição multi-área: após a conclusão do Focus, de acordo com o mapa de navegação da imagem para completar a configuração do caminho de digitalização de uma única área, pode formar uma matriz de vários a dezenas de centenas de caminhos de digitalização de acordo com a distância horizontal e vertical para formar o modo de medição multi-área, com um clique para completar a medição automática de todos os caminhos de digitalização.

3) Modo de medição 3D: após a conclusão do Focus, de acordo com o mapa de navegação da imagem, a configuração do caminho de digitalização de uma única área é concluída, e a configuração de toda a área de digitalização pode ser concluída de acordo com a largura da área de digitalização necessária ou o espaço e o número de linhas de digitalização.

4) Análise estatística SPC: suporta a análise de vários parâmetros de indicadores para diferentes tipos de peças testadas, fornecendo gráficos SPC para dados de medição de amostras em lote para estatísticas de tendências de mudança.

Função de imagem óptica de navegação dupla

As câmeras coloridas de 500W com vista frontal ou inclinada no modelo NS200-D permitem configurar com precisão o caminho de digitalização no sistema de imagem de navegação frontal e acompanhar a trajetória de digitalização em tempo real no sistema de imagem de navegação inclinada.

Função de troca rápida

Usando uma agulha de aspiração magnética, quando a operação de troca de agulha é necessária, a agulha de varredura pode ser substituída rapidamente no local e calibrada rapidamente de acordo com o módulo de calibração no software para garantir a precisão e repetibilidade após a troca de agulha e reduzir os problemas de manutenção.

Visão externa da agulha magnética (330 μm)

Aplicações típicas

Alguns indicadores técnicos

Por favor, note: devido ao desenvolvimento do mercado e às necessidades de desenvolvimento de produtos, o conteúdo relevante neste perfil de produto pode ser atualizado ou modificado a qualquer momento, de acordo com as circunstâncias reais, sem aviso prévio.