Medidor de fluxo HORIBA AMAT3030-17596

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Detalhes do produto

AMAT3030-17596 (em inglês)

Bomba de baixa temperatura Cryo-Plex 16

Considerando um design abrangente e eficiente que permite que a bomba Cryo-Plex 10 alcance o dobro da velocidade de bombeamento da bomba de 8 polegadas, é ideal para uma solução de escape de alto vácuo limpa e sem óleo.

Aplicações padrão: semicondutores, simulação de ambiente espacial, revestimento a vácuo e diversas áreas de pesquisa e desenvolvimento

Configuração flexível

Suporta várias interfaces de flange, como ANSI, ISO e CF

Um compressor de hélio M600 pode acionar simultaneamente uma ou duas bombas Cryo-Plex10, economizando espaço, energia e manutenção. É ideal para grandes câmaras de vácuo que requerem várias bombas de baixa temperatura.

Design padrão

As bombas e compressores Cryo-Plex da Austin Scientific podem ser compatíveis e substituídos com as bombas e compressores CryoTorr da Helix, facilitando atualizações, reparações, trocas e outros serviços.

Parâmetros

Cryo-Plex 10 - Velocidades de bombeamento de gás litros/segundo
ar	3,000
Água	9,000
Hidrogênio	5,000
Argão	2,500
Capacidade de gás - litros padrão @ 5x10-6 Torr
Hidrogênio	24
Argão	2,000
Produção
Argão sccm	1,500
Crossover
Torr-litros	300
Tempo de arrefecimento
60 Hertz	A mais ampla gama de aplicações de fluxo e pressão A estabilidade a longo prazo garante o valor do equipamento Incluindo produtos certificados para áreas perigosas Caixa de equipamento limpável/enxaguável Tipo de fluido gás Faixa de fluxo - capacidade de escala completa 3 sccm - 2500 lpm Precisão ± 0,6% do SP Pressão máxima 4500 psig temperatura 65ouO C Tipo de saída Analógico & Digital Selação térmica metálica Aplicável a processos sensíveis à umidade ou ao oxigênio Fluxo de alta pureza minimiza a poluição do processo e aumenta a produtividade Capacidade de resposta super rápida Tipo de fluido gás Faixa de fluxo - capacidade de escala completa 3 sccm - 300 slpm Precisão SP ± 1% Pressão máxima 150 psig temperatura 50ouO C Tipo de saída Analógico & Digital Alta temperatura Temperatura máxima de funcionamento Alta precisão e repetibilidade Estrutura de ultra-alta pureza Tipo de fluido gás, vapor de água Faixa de fluxo - capacidade de escala completa 3 sccm - 10 slm Precisão SP ± 1% Pressão máxima 145 psig temperatura 105ouO C Tipo de saída Analógico & Digital Corioli Máxima precisão para processos de fluxo ultrabaixo Densimetro de líquido integrado Equipamentos para aplicações de líquidos e gases Tipo de fluido Gás, líquido Faixa de fluxo - capacidade de escala completa 10 - 27.000 gramas/hora Precisão 0,2% - 0,5% da taxa Pressão máxima 4500 psi temperatura 65ouO C Tipo de saída Analógico & Digital 60 minutos
Medições da criopompa
Altura	23.9'
Peso LBS	85
Flange de entrada	ANSI / ISO / CF

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HORIBA流量计AMAT3030-17596

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