Dispositivo de inspe??o óptica mista de alta velocidade e precis?o YSi-12

Descri??o: Dispositivo de inspe??o óptica híbrida de alta velocidade e alta precis?o YSi-12 Características: com alta resolu??o de XY até 10 μm, Z até 5 μm ~ a ambiguidade da determina??o pode ser evitada, para alcan?ar a mesma dete??o de alta precis?o que o medidor ~ velocidade de inspe??o L330 × W250mm, em média, até 15 segundos por substrato (nas melhores condi??es de ilumina??o de 3 camadas) 5 métodos diferentes podem ser escolhidos para obter a melhor inspe??o de 3 cores da camada superior, média e inferior, além de 10 tipos de reconhecimento de imagem IR equipado com camera de inspe??o de 5 megapixels