Série eH Gridless de fontes de íons Hall KRI dos EUA

A série eH da fonte de íons KRI Hall da empresa Kaufman, estabelecida pelo Dr. Kaufman dos Estados Unidos, pertence a fontes de íons de feixe amplo, ângulo de dispersão 45. O fluxo de gás da fonte de íons Hall é opcional 2-25sccm/ 2-50sccm/ 2-50sccm/ 2-75sccm/ 5-100sccm e outros níveis diferentes. Corrente de fonte de íons Hall opcional 5A / 10A / 12A / 15A / 20A, etc. A alta concentração de fontes de íons Hall melhora a taxa de deposição do revestimento, baixa energia dinâmica reduz a superfície danificada pelo bombardeio de íons, o design de feixe amplo melhora eficazmente o rendimento e cobre a área de deposição. Fácil de operar, fácil de manter. A Hall Ion Source eH oferece um conjunto completo de soluções que incluem fontes de íons, neutralizadores eletrônicos, fontes de alimentação, controladores de fluxo MFC e muito mais.