EUA KRI Fonte de íons Hall eH 1000

NegociávelAtualização em07/20

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Visão geral

A fonte de íons KRI Hall eH 1000 da empresa Kaufmann foi estabelecida por Burton de Xangai por meio do Dr. Kaufman dos EUA, com uso eficiente de gás e design de baixo custo para fornecer alta corrente de íons, especialmente adequado para sistemas de vácuo de médio tamanho. Pertence a uma fonte de íons de rede sem rede. Geralmente aplicado em revestimentos auxiliares iônicos, pré-limpeza e gravação iônica de baixa energia. Tamanho: Diâmetro = 5,7 Alto = 5,5 Tensão de descarga / Corrente: 50-300V / 10A Gás de operação: Ar, Xe, Kr, O2, N2, precursores orgânicos

Detalhes do produto

Características do produto KRI Hall Ion Source eH 1000:

BertonKRIFonte de íons HalleH 1000Características:

1.Componente de ánodo removível-Fácil de manter;Durante a manutenção,Minimize o tempo de inatividade;Ánodo de reposição plug-and-play

2.Corrente de alta descarga de feixe amplo-Alta densidade de corrente;Taxa uniforme de gravação;Alta eficiência de gravação;Revestimento auxiliar de íons elevadosIADEficiência

3.Multiusos-AplicávelLoad lock /Sistema de vácuo ultra alto;Instalação fácil;Sem água fria

4.Conversão de plasma eficiente e controle de potência estável

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