P63.X18Z8S P63.X18Z8K mesa de nanoposicionamento piezoelétrico

Grau de liberdade de movimento

X e Z

X e Z

Controle do motor

2 condução, 2 sensores

2 condução

Alcance de curso nominal (0 ~ + 120 V)

X: 16, Z: 6

X: 16, Z: 6

μm ± 10%

Máximo alcance do curso (0 ~ + 150 V)

X: 18, Z: 8

X: 18, Z: 8

μm ± 10%

Tipo de sensor

da SGS

-

Resolução de anel fechado/aberto

X0,6 Z0,2

X0,2 Z0,1

nm

Linearidade de ciclo fechado

X: 0,3, Z: 1

-

%F. O S.

Precisão de posicionamento repetida em ciclo fechado

0.25

-

%F. O S.

Inclinação / desvio / rolagem

≤15

≤15

μrad

Frequência de ressonância vazia

X2 / Z1

X2 / Z1

KHz ± 20%

Tempo de salto de carga vazia fechado/aberto

8

0.5

ms ± 20%

Capacidade de carregamento

0.5

0.5

quilogramas

Capacidade estática

X: 1,8, Z0,8

X: 1,8, Z0,8

μF ± 20%

Intervalo de temperatura de funcionamento

-20~80

-20~80

° C

material

alumínio

alumínio

Comprimento da saída

1.5

1.5

m ± 10 milímetros