P63.XY18S P63.XY18K mesa de nanoposicionamento piezoelétrico Características do produto: curso do eixo XY 18μm / eixo; Aberto / fechado opcional; Capacidade de carga de até 0,5 kg; versão a vácuo opcional;
P63.XY18S P63.XY18K mesa de nanoposicionamento piezoelétricoCaracterísticas do produto
Passagem do eixo XY 18μm / eixo
Aberto / fechado opcional
Carregamento até 0,5 kg
Versão a vácuo opcional
Parâmetros técnicos:
modelo |
S - anel fechado
K - Anel aberto
|
P63.XY18S |
P63.XY18K (em inglês) |
Unidade |
Grau de liberdade de movimento |
X e Y |
X e Y |
|
Controle do motor |
2 condução, 2 sensores |
2 condução |
|
Alcance de curso nominal (0 ~ + 120 V) |
16 / eixo |
16 / eixo |
μm ± 10% |
Máximo alcance do curso (0 ~ + 150 V) |
18 / eixo |
18 / eixo |
μm ± 10% |
Tipo de sensor |
da SGS |
- |
|
Resolução de anel fechado/aberto |
0.6 |
0.2 |
nm |
Linearidade de ciclo fechado |
0.3 |
- |
%F. O S. |
Precisão de posicionamento repetida em ciclo fechado |
0.25 |
- |
%F. O S. |
Inclinação / desvio / rolagem |
≤15 |
≤15 |
μrad |
Frequência de ressonância vazia |
2 |
2 |
KHz ± 20% |
Tempo de salto de carga vazia fechado/aberto |
8 |
0.5 |
ms ± 20% |
Capacidade de carregamento |
0.5 |
0.5 |
quilogramas |
Capacidade estática |
1.8 |
1.8 |
μF ± 20% |
Intervalo de temperatura de funcionamento |
-20~80 |
-20~80 |
° C |
material |
alumínio |
alumínio |
|
Comprimento da saída |
1.5 |
1.5 |
m ± 10 milímetros |
P63.XY18S P63.XY18K mesa de nanoposicionamento piezoelétricoDiagrama de dimensões
