Medidor de fluxo de massa de gás térmico

Medidor de fluxo de massa de gás térmico
I. Princípio de funcionamento:
A tecnologia de chip térmico sensível μf é a adoção de resistência integrada em massa para garantir a altura do sensor *, resolvendo o fato de que o medidor de fluxo de massa térmica tradicional não pode garantir o valor da resistência do sensor *, levando a diferenças na velocidade de condução térmica do sensor em todas as direções de descoberta, por isso o medidor de fluxo de massa térmica tradicional tem problemas de estabilidade do produto durante a calibração e o uso do sensor, o medidor de fluxo de massa térmica em aplicações reais é caro e a aplicação em massa é mais difícil. O consumo de energia do chip térmico seco μf é muito menor do que o medidor de fluxo de massa térmico comum, o colega é confiável, estável e mais seguro.
No chip, uma fonte de microcalor e um sensor de temperatura acima e abaixo da fonte de microcalor são integrados na superfície da ponte perfurada feita com o processo MEMS*. A fabricação desse tipo de ponte favorece o sensor de calor, o que aumenta significativamente o tempo de resposta dinâmica. Quando o sensor de oscilação funciona, a diferença de temperatura entre a fonte de microcalor e a temperatura ambiente é mantida, formando uma distribuição de campo de temperatura fixa ao redor do chip.

Medidor de fluxo de massa de gás térmico
Características do produto:
1, a integração do produto é elevada, combinando a exibição de fluxo instantâneo, a exibição de fluxo acumulado e a saída de sinal, e pode alcançar o ajuste automático, a válvula de controle, sem a necessidade de passar pela exibição do medidor secundário.
Sensores térmicos sensíveis ao microfluxo μf usam tecnologia de produção de circuitos integrados em massa e novas tecnologias de processamento de materiais para melhorar significativamente a sensibilidade da medição de microfluxo do medidor de fluxo.
Medição de gás de pequeno fluxo, controle de fluxo dimensional do nível sccm (ml / min), para alcançar a digitalização da medição de fluxo pequeno.
A tecnologia de microprocessamento das características de fluxo de um único chip aumenta significativamente o alcance do medidor de fluxo.
Mecatrônica design otimizado, tecnologia de processamento de dados inteligente, para que o medidor de fluxo tenha uma melhor repetibilidade, alcançando a medição precisa e confiável.

Otimização da estrutura, a perda de pressão do medidor de fluxo MFM alcança a minimização zui.
A tecnologia de sensor MF é usada para tornar o trabalho do medidor de fluxo mais estável e confiável.
* Função de auto-calibração de ponto zero, medição mais precisa.
8, calibração real de vários gases, compensação de escala completa.
Resposta rápida, armazenamento automático digital, combinado com o computador superior pode alcançar o gerenciamento centralizado da rede.
Especificações completas, ampla gama de escala, pode ser calibrada separadamente de acordo com os requisitos do usuário.
Alto nível de precisão para atender aos requisitos de medição de alta precisão do usuário.
* Função de alarme do medidor de fluxo para tornar o monitoramento mais confiável.
13, operação, interface de configuração amigável, fácil, pode definir os parâmetros relevantes de acordo com as necessidades.
14, a indústria de aplicação mais, para que os institutos de pesquisa científica, a indústria de instrumentos analíticos, a indústria de semicondutores, a indústria fotovoltaica, o revestimento de vidro, a indústria química de companheiros de quarto produtos de controle de fluxo de gás pequeno atualização substituído *.