Sistema de sonda de alta temperatura da série WZH inclui: seção de imagem óptica, base de elevação geral, suporte de sonda de alta precisão, sistema de controle de temperatura, sistema de adsorção de vácuo, etc.; Pode ser aplicado à análise de teste de desempenho elétrico de amostras medidas em ambientes de alta temperatura, tais como: semicondutores / microeletrônica, eletrônica, mecânica, física, química, materiais, optoelétrica, nano, microeletrônica / MEMS, biochips, aeroespacial e áreas de pesquisa científica, bem como design / fabricação / teste / embalagem de IC, LED, LCD / OLED, LD / PD, PCB, FPC e outras áreas de fabricação. É uma sonda poderosa e de alto desempenho.
Informação do produto:
As sondas são usadas principalmente na indústria de semicondutores, indústria fotoelétrica, circuitos integrados e testes de embalagens. A pesquisa e o desenvolvimento de medições elétricas de precisão amplamente usadas em dispositivos complexos e de alta velocidade visam garantir a qualidade e a confiabilidade e reduzir o tempo de pesquisa e desenvolvimento e os custos do processo de fabricação do dispositivo.
Sondas manuais de alto custo-benefício desenvolvidas por instrumentos espectrográficos, amplamente usadas em circuitos integrados, triodos, diodos e detectores fotoelétricosIV/CVOs testes e a caracterização de desempenho, como parâmetros, são equipamentos essenciais na pesquisa científica fotoeletrônica.
WZHA série de sistemas de sonda de alta temperatura inclui: seção de imagem óptica, base de elevação geral, suporte de sonda de alta precisão, sistema de controle de temperatura, sistema de adsorção de vácuo, etc.; Análise de teste de desempenho elétrico para amostras medidas em ambientes de alta temperatura, por exemplo: semicondutores/Microeletrônica, eletrônica, eletromecânica, física, química, materiais, fotoeletrônica, nano, microeletromecânica/MEMSáreas de pesquisa científica como biochips, aeroespacial eICDesenho/fabricação/Teste/embalagem,LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPCoutras áreas de produção. É uma sonda poderosa e de alto desempenho.
Características do produto:
Tamanho de Wafer Testável: 2 polegadas a 4 polegadas (também pode ser atualizado para tamanhos maiores)
★ Posicionamento geral do suporte da sonda e da amostra, muito conveniente para o cliente realizar testes fotoelétricos sincrônicos da amostra
Precisão da corrente de vazamento:100fAaté o máximo10fA
★ Parafuso de precisão/Estrutura de transmissão de cauda, movimento linear, deslocamento de precisão, design sem desvio de retorno
Aplicado a instituições de ensino superior/Instituto de Pesquisa/Utilização do laboratório da empresa
★1Elétrodos acima de microns/PADUtilização
★ Design modular que pode adicionar e remover os módulos correspondentes de acordo com a aplicação
★ Adota o sistema de controle de temperatura importado, excelente estabilidade de temperatura e uniformidade de controle de temperatura
Aplicação do produto:
◆LD/LED/PDA força da luz/Teste de comprimento de onda (equipamento fotoelétrico integrado)
◆ Materiais/do dispositivoIV/CVTeste de análise de características
Teste de análise de wafer
Selecção de parâmetros técnicos:
Especificações / Parâmetros |
Modelo |
WZH-4 |
Dimensão (LWH) |
600mm×600mm×450mm |
Necessidade de energia |
220VC,50-60HZ |
Banco de amostras
|
Dimensões |
4 polegadas (redondo / quadrado) pode ser personalizado maior mesa de amostra |
Itinerário |
Passagem do eixo XY 50mm; Passagem do eixo Z 60mm (pode aumentar a função de rotação) |
Precisão de movimento |
O eixo XY em geral 1μm; Eixo Z 10μm |
Função de teste de eletrodo traseiro |
Pode levar eletrodos |
adsorção de vácuo |
Com bomba de vácuo sem óleo de importação, 7L/min |
Módulos personalizados |
Processo e precisão de deslocamento de bits personalizados |
Sistema de controle de temperatura |
Gama de controle de temperatura |
Temperatura normal -300 ℃ (temperatura normal -27K) |
Precisão de temperatura |
±0.1℃ |
Estabilidade de temperatura |
±1℃ |
Uniformidade de temperatura |
±3℃ |
Senteiro de ajuste da sonda |
Viagem XYZ |
13mm-13mm-13mm |
Precisão mecânica |
1μm |
Precisão do vazamento |
100fA/10fA |
Instalação |
Adsorção magnética ajustável / adsorção a vácuo |
Forma de interface |
Três eixos (Triax) |
Imagem óptica |
Ampliar o múltiplo |
7-200 vezes (atualização máxima de 720 vezes) |
Pixel CCD |
2000W |
Distância central |
140mm, Alcance de elevação 270mm, altura total 350mm |
Monitor |
Monitor de 12 polegadas para ampliar amostras de 3-17mm para toda a tela (microscópio de grande tamanho atualizável) |
Acessórios opcionais |
Placa dourada |
Opções de teste de bola de pontos |
Caixa de blindagem |
Suporte de isolamento vibratório |
Importar suporte de fonte de luz |
Fonte de fibra óptica monocromática de comprimento de onda (medição de corrente) |
Dispositivo de regulação de microscópio manual/elétrico |
Microscópio de corte a laser |
Acessórios do adaptador |
O instrumento espectrográfico pode ser construído de acordo com a aplicação do cliente para alcançar melhordoEfeito de utilização e relação custo-benefício |