Plataforma de Isolamento Ativo STACIS IIIc

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Visão geral

Visão geral O STACIS IIIc é a versão compacta do sistema de isolamento activo STACIS III**. Oferece o mesmo excelente desempenho de isolamento vibratório em alturas reduzidas. O STACIS IIIc é ideal para uso em pisos móveis sem ou com pisos muito baixos, devido à série STACIS III padrão.

Detalhes do produto

Visão geral

O STACIS IIIc é a versão compacta do sistema de isolamento activo STACIS III**. Oferece o mesmo excelente desempenho de isolamento vibratório em alturas reduzidas.

O STACIS IIIc é ideal para uso em pisos móveis sem ou com pisos muito baixos, uma vez que a altura do sistema STACIS III padrão torna o instrumento muito alto.

Em uma configuração de três isoladores, a altura do isolador é inferior em 60% à altura do STACIS III convencional. Em sistemas com mais de 3 isoladores, a altura variará entre 60% e 70%, dependendo da configuração de carga útil. Consulte as especificações abaixo para obter mais informações.

Vantagens do STACIS IIIC

A altura do isolador** foi reduzida em 42% em comparação com o sistema STACIS III convencional, mas o desempenho não diminuiu.

O STACIS é centenas de vezes mais robusto do que o isolador de ar e não tem as limitações do sistema de isolamento de ar. Não tem suspensão "macia" e, ao contrário do sistema de ar ativo, o STACIS pode ser colocado sob a ferramenta com um sistema de isolamento de ar ativo interno, permitindo que ambos os sistemas funcionem no estado **.

Design em série único e tecnologia piezoelétrica patenteada de alta potência

A largura de banda ativa de 0,6 Hz a 150 Hz é alcançada e o desempenho de isolamento ativo de 90% a partir de 2 Hz**.

Desempenho

4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

Especificações de desempenho

Especificações

Grau de liberdade ativa	6
Largura de banda ativa	0.6 Hz - 150 Hz
Frequência inerente passiva	18 Hz vertical e horizontal
Frequência de ressonância ativa eficaz	0.5 Hz
Isolamento em 1 Hz	40% - 70%
Isolamento em ≥2 Hz	≥90%
Tempo estável após a entrada de 10 libras (4,5 kg) (Redução 10:1)	0,3 segundos
Ruído interno	<0.1 nm RMSd>
Gama de carga de trabalho para cada isolador	Capacidade de carga baixa: 400 - 1100 libras (181 - 499 kg) Capacidade de carga média: 900 - 2100 libras (408 - 953 kg) Alta capacidade de carga: 1.900 - 4.500 libras (862 - 2.041 kg)
Rigidez (1.000 lb/454 kg de massa, isolador de carga média)	40.000 libras por polegada (73 x 10)⁵bovinos/m)
Campo magnético emitido a partir de um isolador de distância** de 4 polegadas (102 mm)	<0.02 μG broadband RMSd>

Requisitos de design, tamanho, ambiente e utilidade do isolador

Ambiente e segurança	Conforme às normas CE e RoHS
Isolamento de vibração ativo	** Os atuadores piezoelétricos com capacidade de carga pequena de 3.300 libras (1.500 kg) recebem sinais de amplificadores de alta tensão com saídas de até 800 VDC. Atuador vertical suporta carga útil de isolamento vibratório
Isolamento passivo	Elastômero homogênero rígido único (sem fonte de ar comprimido)
Componentes do sensor de vibração	Sensor de inércia tipo detector sísmico para baixo para medir a vibração do solo sob o isolador e fornecer uma tensão proporcional à velocidade de movimento da vibração
Circuito de controle de feedback ativo	Medição, tratamento e atenuação das vibrações do solo sob a mola que suporta a superfície isolante
Dimensões do isolador (largura x profundidade x altura)	14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.
Peso do Isolador	53 libras (24 kg)
Temperatura de funcionamento	50° - 90° F 10° - 32° C
Temperatura de armazenamento	-40° - 130° F -40° - 55° C
Umidade	30 - 60%
Requisitos de energia do sistema	100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W Conforme às normas CE
Deslocamento do solo	<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
Número de isoladores por sistema	Pelo menos três.
Acessórios opcionais	Plataforma de aço inoxidável laminada, estrutura, tubo vertical, dispositivo de alinhamento, dispositivo sismico, tampa de elevação

Especificações do controlador DC-2020

Dimensões (largura x profundidade x altura)	19 x 8,5 x 1,75 polegadas 483 x 216 x 45 mm
Peso	6,3 libras (2,9 kg)
Processador	Núcleo duplo 150/75 MHz
Taxa de amostragem	10 kHz
Saída analógica	16 canais.
Entrada analógica	16 canais.
Luz de estado	LED único
Porta do painel frontal	1 USB 2.0 em série 1 Micro-USB em série 1 Ethernet RJ-45 Dois BNC
Porta do painel traseiro	1 USB 2.0 em série 1 Ethernet RJ-45 1 RS-232 DB-9 serial tradicional para isoladores STACIS 2100 tradicionais
Interface do usuário	Display LCD do painel frontal Menu de caracteres no Super Terminal GUI estendida para o Microsoft Windows GUI Ethernet incorporada

Usuários e aplicações STACIS
Microeletrônica, Semicondutores
▪ Detecção de chips
▪ Tecnologia de micrografia
▪ Calibração da máscara
Pesquisa científica, nanotecnologia
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3 - Estação laser
▪ Ciências da Vida, Desenvolvimento de Medicamentos
4 Aplicações industriais
▪ usinagem de precisão

Por que escolher um sistema ativo?
▪ A partir de <1Hz, eliminando fortemente a vibração do solo, a plataforma pneumática não pode desempenhar um isolamento eficaz nesta baixa frequência
▪ Melhore qualidade e produtividade
▪ Capacidade de imagem com características mais pequenas
▪ Pesquisa de vanguarda
▪ Mais estável do que a plataforma pneumática
▪ Solução** que atende aos parâmetros de instalação em locais padrão da SEM
▪ Reduza os custos de engenharia de novos laboratórios e equipamentos de pesquisa

Por que escolher o STACIS
▪ Está no coração dos pesquisadores, fornecendo o ambiente mais seguro possível ***.
▪ * Sistema de isolamento de baixa frequência no mercado.
▪ Atualmente, todos os fabricantes de SEM publicaram os requisitos de parâmetros de instalação, e os parâmetros de vibração necessários requerem um sistema de isolamento vibratório ativo para ser satisfeito.
▪ O STACIS** foi inventado na década de 1990 e desenvolvido, desenvolvido e instalado pela TMC por milhares de sistemas de isolamento ativo, uma solução confiável para o controle de isolamento ativo.

STACIS é centenas mais rígido do que o isolador pneumáticovezes
O tempo de estabilidade, em resposta às perturbações, é drasticamente reduzido devido ao design único em série, ideal para uso em máquinas, cargas dinâmicas, lasers ou superfícies rígidas independentes que exigem instalação de fontes de luz.

As seguintes vantagens são no setor **
▪ Largura de banda de isolamento ativo STACIS de 0,6 Hz a 150 Hz
▪ 6 graus de liberdade para a eliminação de vibrações ativas, com intervalos de vibração de 8-10dB em 1Hz
▪ De 2 a 3Hz, isolamento de vibração de até 90% (20dB)

Pesquisa ambiental profissional
Investigação ambiental antes e depois da instalação, incluindo vibrações, campos magnéticos e ondas sonoras
Certificação do sistema ambiental após a instalação
▪ Serviços de investigação ambiental perfeitos
▪ Elaboração de relatórios ambientais profissionais
▪ Detecção e soluções de vibrações, campos magnéticos e ondas sonoras
▪ A TMC recomenda soluções práticas aos usuários com base em sua ampla experiência
▪ Mais de 40 anos de experiência no setor **

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