Microcontrolador de fluxo de massa de gás

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Visão geral

Micro controladores de fluxo de massa de gás foram projetados especificamente para medição e controle de vários tipos de gás de pequeno fluxo. Todos os sensores da série são fabricados com chips avançados de sensores de fluxo de microsistemas eletromecânicos (MEMS), que combinam tecnologia de processamento de sinais digitais e algoritmos de controle de fluxo para o controle preciso e processamento inteligente de todos os tamanhos de fluxo de gases.

Detalhes do produto

I. Introdução do produto

Micro controladores de fluxo de massa de gás foram projetados especificamente para medição e controle de vários tipos de gás de pequeno fluxo.Esta série Os sensores são equipados com sistemas micromecânicos avançados (MEMS) chips de sensor de fluxo para fazer, combinando cartas digitaisnúmero Tecnologia e algoritmos de controle de fluxo para o controle preciso e inteligente de todos os tamanhos de fluxo de gásTratamento químico.

Áreas de aplicação: aeroespacial, processamento de semicondutores, biomédico, automóvel eletrônico, metalurgia do aço, eletrônica naval, produção de gás industrial, etc.

Empresa.

Características do produto

Utilização de sistemas micromecânicosChips de Sensor de Fluxo (MEMS) Partição de desvio.Válvulas de fluxo e proporções eletromagnéticas projetadas para sensores Dispositivo com alta precisão e forte resistência à interferência Fluxo stratificado do fluido de contorno do divisorpara permitir a medição e o controle mais estável e preciso. Válvula proporcional eletromagnética com longa vida útil e alta sensibilidadeCaracterísticas.

★ Estabilidade zero do sensor.

★ Alta precisão na faixa de medição e boa repetibilidade.

★ Tempo de resposta rápido.

★ Interface mecânica padrão para fácil instalação.

★ Saída de comunicação RS485, Modbus padrão Acordo RTU.

★ AdopçãoLCD exibe o fluxo instantâneo e o fluxo acumulado, claro e intuitivo, para leituraConveniente para controlar o fluxo através de teclas Quantidade, exibição direta do fluxo de controle e valores de fluxo em tempo real na tela LCD

Controle de entrada e saída de 4-20mA.

Controle de entrada e saída de 0-5V ou 0-10V
Parâmetros técnicos

Energia de trabalho	DC24V / 6W
Precisão(%)	Precisão de controle: ± 1,0% SP, precisão de medição 0-50L / min 1%fs maior que 50L/min 1,5fs%
Controle e medição Chengbi	1： 100
Tipo de válvula	Tipo frequentemente fechado
Temperatura de funcionamento	-10~55℃
Umidade	< 95% RH (sem congelamento, sem congelamento)
Pressão de trabalho Cerca	Medição:0-1.5MPA Controle: Pressão 100SCCM-30SPLM: 0.1-1.0MPA Pressão 100SPLM: 0.1-0.65MPA Pressão 300SPLM: 0.1-0.5MPA
Controle típico Tempo de resposta	Menos que1S (T90)

Ao medir a resposta quarto	<50mS
Método de saída	4-20mA ou 1-5V
Métodos de comunicação	RS485 (Modbus) Acordo RTU)
Modo de controle	Operação de teclas, Modbus,4-20mA(1-5V)， Personalizável 0-5V
Conexão mecânica	G1/4, PT1 / 2 rosca interna
Nível de proteção	IP40

Observação: os dados acima são25℃ , 101.32kPa, Medido ao ar seco Outras características

Temperatura padrão selecionável Condições de grau	0°, 20°, 25°, ajustável pelo usuário, padrão 25°
Classe de gás selecionável Tipo	Ar, N2, O2, CH4, Ar, CO2, Ele... H2 ，O C3H8
Diferença de pressão de trabalho	50 SPLM 0,1 MPA - 0,7 MPA 100SPLM 0,1MPA-0,6MPA 300SPLM 0,1 MPA -0.4MPA

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