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Xangai Pe Blue Optoelectronics Co., Ltd.
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Xangai Pe Blue Optoelectronics Co., Ltd.

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Espessometros de membrana óptica diferencial (série OPTM)

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Visão geral
Os espessurômetros de membrana óptica diferenciais (série OPTM) usam microespectrometria para medir a refletidão absoluta em pequenas áreas, permitindo uma análise de alta precisão da espessura da membrana / constante óptica. Medir a espessura de filmes revestidos de forma não-destrutiva e sem contato, como filmes, chips, materiais ópticos e filmes multicamadas.
Detalhes do produto

Medir a refletidão ** da membrana alvo, medir a espessura da membrana de alta precisão e constantes ópticas! Não-Contato · Não-Destruição · Microscopia

Tempo de medição de apenas 1 segundo!

Os espessurômetros de membrana óptica diferenciais (série OPTM) usam microespectrometria para medir a espessura da membrana/constante óptica de alta precisão através da refletidão** em pequenas áreas. Medir a espessura de filmes revestidos de forma não-destrutiva e sem contato, como filmes, chips, materiais ópticos e filmes multicamadas. Medição de alta velocidade de 1 segundo/ponto no tempo de medição e software que facilita a análise de constantes ópticas, mesmo para usuários iniciais

显微分光膜厚仪(OPTM系列)(图1)

Características do produto:

  • Cabeça com funções necessárias para medição da espessura da película

  • Medição de alta precisão** da refletidão por microespectrometria (espessura de membrana de camadas múltiplas, constante óptica)

  • Medição de alta velocidade em 1:1 segundo

  • Sistema óptico de ampla gama sob luz diferencial (ultravioleta*** infravermelho próximo)

  • Mecanismo de segurança dos sensores de área

  • Assistente de análise fácil para iniciantes com análise de constantes ópticas

  • Cabeça de medição independente para diversas necessidades de personalização inline

  • Suporta várias personalizações

Projetos de medição:

  • ** Medição da Reflexividade

  • Análise de camadas múltiplas

  • Análise de constantes ópticas (n: índice de refração, k: fator de extinção)

Aplicação:

  • Semicondutores: ajuste automático de amostras de wafers, detecção de curvatura de wafers

  • Componentes ópticos: detecção de radiotaxa, curvatura, etc. das lentes da lente

Especificações do produto


OPTM-A1

OPTM-A2

OPTM-A3

Intervalo de comprimento de onda

230 ~ 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 ~ 1600 nm

Gama de espessura da membrana

1nm ~ 35μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

Tempo de medição

1 segundo / 1 ponto

Tamanho da mancha

10 μm (*** pequeno aproximadamente 5 μm)

Sensores de luz

CCD

InGaAs

Especificações da fonte de luz

lâmpada deutério + halógeno

Lâmpadas de halogênio

Especificações de energia

AC100V±10V 750VA (especificação do banco de amostras automático)

Dimensões

555(L) × 537(D) × 568(H) mm (parte principal das especificações da mesa de amostragem automática)

Peso

Cerca de 55 kg (parte principal das especificações da mesa de amostragem automática)