Medidor de fluxo do controlador de fluxo de massa Seven Star

Medidor de fluxo do controlador de fluxo de massa Seven Star

Controladores de fluxo de massa e medidores de fluxo de massa Manual de utilização 1. Queridos usuários, obrigado por comprar os controladores de fluxo de massa/medidores de fluxo de massa da série D07 da nossa empresa. Este manual descreve em detalhes o que é necessário para usar corretamente e de forma segura esta gama de produtos. Os usuários do produto, por favor, certifique-se de ler cuidadosamente este manual e compreender o uso após, durante o uso, por favor, note o texto com o logotipo e tudo o que está incluído nas notas. A Empresa reserva-se o direito de não ser responsável por danos materiais ou danos pessoais causados por uso não conforme o manual de uso. Por favor, guarde este manual devidamente durante a instalação, manutenção e reparação de defeitos. Utilização e características do medidor de fluxo de massa (Mass Flow Meter, MFM) para medição precisa do fluxo de massa do gás; Os controladores de fluxo de massa (MFC) são usados para medir e controlar com precisão o fluxo de massa de um gás. Eles têm aplicações importantes em pesquisas científicas e produção em diversas áreas, como a indústria de microeletrônica de semicondutores, desenvolvimento de materiais especiais, indústria química, indústria petrolífera, medicina, proteção ambiental e vácuo. Suas aplicações típicas incluem: equipamentos de processo eletrônico, como difusão, oxidação, extensão, CVD、 Gravação de plasma, pulverização, injeção de íons; Além de equipamentos de revestimento a vácuo, fusão de fibras ópticas, dispositivos de microreação, sistemas de distribuição de gás misturado, medição capilar, cromatografia de gás e outros instrumentos de análise. O controlador de fluxo de massa e o medidor de fluxo de massa da série D07 possuem alta precisão, boa repetibilidade, velocidade de resposta rápida, arranque suave, estabilidade e confiabilidade, ampla faixa de pressão de trabalho e outras características (podem trabalhar em condições de alta pressão ou vácuo), sua operação é fácil de usar, pode ser instalado em qualquer local e é fácil de conectar ao computador para o controle automático. Controladores de fluxo de massa e medidores de fluxo de massa da série D07 são geralmente usados ​​com produtos como monitores de fluxo da série D08, conectados entre o controlador e o monitor por um cabo especial

Medidor de fluxo do controlador de fluxo de massa Seven Star

Tabela dos principais indicadores técnicos 1. D07-19B Tipo MFC Número de indicador de desempenho Item D07-19B1 Especificações de fluxo (0-5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0-1,2,3,5,10,20,30) SLM2 Precisão ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)3 Linear ±0,5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)4 Precisão de repetição ±0,2 % F.S.5 Tempo de resposta ≤2 sec6 Diferença de pressão de trabalho ≤10 SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)7 Pressão máxima de trabalho 1 MPa8 resistência à pressão 3 MPa (435,1 psig)9 temperatura ambiente de trabalho 5 ℃ ~ 45 ℃10 sinal de entrada e saída 0 V ~ +5,00 V (impedância de entrada maior que 100K, corrente de saída não maior que 3mA)11 fonte de alimentação +15 V 50 mA; -15V 200 mA12 Dimensões figurais Ver Figura 413 Peso 0,95 kg Nota: Os medidores de fluxo de massa e controladores de fluxo de massa são geralmente calibrados em fábrica com nitrogênio (N2). A unidade de fluxo de massa é especificada como: SCCM (ml/min padrão); O estado padrão SLM (L / min padrão) é especificado como: temperatura --- 273,15 K (0 ℃); Pressão atmosférica — 101325 Pa (760 mm Hg) no centro de produtos de fluxômetros MFC/MFM de sete estrelas, a unidade SCCM é equivalente a "mL/min, 0°C, 1 atm" e a unidade SLM é equivalente a "L/min, 0°C, 1 atm". Página 4 de 28 F.S. (Full Scale): Tabela de Valores de Escala Completa 2. D07-19BM Tipo MFM Número de indicadores de desempenho Item D07-19BM1 Especificações de fluxo ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2 Precisão ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)3 Linear ±0,5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)4 Precisão de repetição ±0,2 % F.S.5 Tempo de resposta ≤2sec6 Declínio de pressão <0,02 MPa (2,9 psid)7 Pressão máxima de trabalho 1 MPa8 Resistência a pressão 10 MPa (1450,4 psig)9 Temperatura ambiente de trabalho 5 ℃ ~ 45 ℃10 Sinal de saída 0 V ~ +5,00 V (impedância de entrada maior que 100K, corrente de saída não maior que 3mA)11 Energia +15 V 50 mA-15 V 50 mA12 Dimensões da forma Ver Figura 413 Peso 0,7 kg Os principais indicadores técnicos para cada modelo de produto estão na Tabela 1 e Tabela 2. O tipo D07-19BM é a seção de medição de fluxo do tipo D07-19B, com os mesmos indicadores técnicos do tipo MFM e do MFC na seção de medição de fluxo. Estrutura e princípio de funcionamento 4.1 O medidor de fluxo de massa estrutural é composto por componentes como sensores de fluxo, canais de divisor e circuitos de amplificação de fluxo; Com base no medidor de fluxo de massa, juntamente com a válvula de regulação e o circuito de controle PID, o controlador de fluxo de massa é constituído. Controlador de fluxo de massa tipo D07-19B, com estrutura após a abertura da capa externa, como mostrado na Figura 2.