Mesa de evaporação da série ULVAC ei-5z

NegociávelAtualização em03/19

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Parâmetros técnicos principais:

Detalhes do produto

Descrição do produto:

ULVAC ei-5zA série de equipamentos de revestimento de evaporação de alto vácuo é uma mesa de evaporação multifuncional que pode instalar simultaneamente a evaporação de feixe de eletrônicos e a fonte de evaporação térmica, que pode ser usada em uma variedade de revestimentos de evaporação de metais, ligas e não-metais, pode fazer o processo de evaporação de entrada vertical, pode fazer design de parede, com controle totalmente automático, estável e eficiente.

Parâmetros técnicos principais:

· Aplicável a Si, GaAs, vidro-cerâmica e outros substratos de 2-8inch de várias formas;

· Adotando uma bomba de ar baixo, pode atingir 3,0 * 10 em 20 minutos^-4Pa， Pressão máxima3.0*10^-5Pa ou inferior；

· Adotar feixe de eletrônicos ou fonte de evaporação térmica, compartilhamento do painel;

A uniformidade da espessura da membrana é melhor que ± 5%;

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