O controlador de fluxo de massa MFC da série P MFC pode ser aplicado tanto em processos de fase inicial de semicondutores, como ETCH, PVD, ALD, MOCVD, IMP e outros equipamentos, como em energia fotovoltaica, revestimento a vácuo e outros campos. O $r$nMFC oferece eficiência maior através do controle preciso do fluxo de gás.
Controlador de fluxo de massaMFC Série P
Série P MFCControlador de fluxo de massaÉ um dispositivo de alto desempenho e confiabilidade no campo do controle do fluxo de gás. Aqui está uma introdução a algumas de suas características e aplicações:Adota uma válvula única + diferença de pressão + sensor de posição melhorado design para medir a precisão ±. �% S.P.(��% - ���% F.S.)Velocidade de resposta ≤ ms(��% - ���% F.S. (em inglês).
Controle de alta precisãoAdotando tecnologia de sensor avançada e algoritmos de controle, é capaz de alcançar o controle de fluxo de massa de gás de alta precisão, pode controlar os erros de medição em níveis mais baixos, para atender a vários requisitos de alta precisão do fluxo2- É.
Resposta rápidaTempo de resposta curto, capacidade de responder rapidamente às mudanças nos valores de configuração de fluxo, ajuste rápido do fluxo de gás para garantir a estabilidade e a consistência do processo2- É.
Amplo alcanceA ampla cobertura de medição pode ser aplicada a diferentes cenários de aplicação, desde fluxos pequenos até fluxos maiores, para atender aos diferentes requisitos de tamanho de fluxo de gás de vários processos2- É.
Compatível com vários gasesBanco de dados de vários gases integrado para suportar vários tipos diferentes de gases, sem configurações e conversões manuais complicadas, para comutação fácil de diferentes gases para controle de fluxo2- É.
Boa adaptabilidade ambientalAdotando materiais e design de alta qualidade, com melhor resistência à corrosão e resistência à interferência, pode trabalhar de forma estável em diferentes condições ambientais, adaptando-se a vários ambientes industriais2- É.
Comodidade de operação e comunicaçãoEquipado com uma interface de operação intuitiva que facilita a configuração e o monitoramento de parâmetros e suporta vários protocolos de comunicação para fácil integração com computadores superiores ou outros sistemas de controle para operação remota e controle automatizado.
Fabricação de semicondutoresO controle preciso do fluxo de vários gases de processo em processos semicondutores, como gravura, deposição química em fase (CVD) e deposição física em fase (PVD), é essencial para garantir a qualidade e a consistência da fabricação de chips. Por exemplo, no processo de gravação, controle preciso do fluxo de gás de gravação, como tetrafluoreto de carbono e hexafluoreto de enxofre, para garantir que a reação de gravação seja realizada à velocidade e na direção predeterminadas; No processo CVD, o fluxo de gases de reação, como o silão e a amônia, é controlado com precisão para garantir que a composição química, a espessura e a qualidade da película fina depositada sejam adequadas.
BiomedicinaEm áreas como pesquisa e desenvolvimento de medicamentos, fermentação biológica, para controlar com precisão o fluxo de vários gases, como o controle da proporção de fornecimento de gases como oxigênio e dióxido de carbono durante a cultura celular, para criar um ambiente adequado para o crescimento celular; Na produção de medicamentos, a adição precisa de gás de microreagente também requer MFC de alta precisão.
Produção químicaNo processo de síntese química, química fina, etc., é usado para controlar o fluxo de vários gases de reação e gases de matéria-prima, para garantir o progresso suave da reação química e a estabilidade da qualidade do produto. Por exemplo, em algumas reações de síntese orgânica, o fluxo de gases como hidrogênio e nitrogênio é controlado com precisão para regular a velocidade e seletividade da reação.
Nova EnergiaEm áreas de novas energias, como a produção e os testes de células de combustível, é necessário controlar com precisão o fluxo de gases como hidrogênio e oxigênio para garantir o desempenho e a estabilidade das células de combustível; Durante a fabricação de células solares, o MFC também é usado para controlar o fluxo de gases de processo relevantes.
