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Categorias do produto
Shenzhen Qiyuestin Tecnologia Co., Ltd.
Controlador de fluxo de massa
NegociávelAtualização em12/13
- Modelo
- Natureza do fabricante
- Produtores
- Categoria do produto
- Local de origem
Visão geral
O controlador de fluxo de massa da série V MFC é usado para controlar com precisão o fluxo de massa de gás. O MFC pode ser aplicado em processos pré-condutores, como ETCH, PVD, ALD, MOCVD, IMP e outros equipamentos, mas também em energia fotovoltaica, revestimento a vácuo e outros campos. O $r$nMFC oferece eficiência maior através do controle preciso do fluxo de gás.
Detalhes do produto
Controlador de fluxo de massaSérie V MFC
Aplicação:O MFC pode ser aplicado tanto em processamento de fase inicial de semicondutores, como ETCH, PVD, ALD, MOCVD, IMP e outros equipamentos, como em energia fotovoltaica, revestimento a vácuo e outros campos.O MFC oferece eficiência superior através do controle preciso do fluxo de gás.
Esta série de produtos pode ser amplamente utilizada em equipamentos de processo como etch (gravura), CVD (deposição de fase química de gás), PVD (deposição de fase física de gás), ALD (deposição de camada atômica), MOCVD (deposição de fase química orgânica de metal) na fabricação de semicondutores, e também é adequada para áreas como MPCVD (deposição de fase química de gás de plasma de microondas), desinfecção e secagem, purificação de quartzo e tratamento de resíduos médicos.
